عنوان پایان‌نامه
بیضی سنجی بااستفاده از پارامترهای استوکس
- رشته تحصیلی
- فیزیک-اتمی‌ملکولی
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه پردیس علوم شماره ثبت: 5194
- تاریخ دفاع
- ۲۶ شهریور ۱۳۹۲
- دانشجو
- کلثوم عباس زاده
- استاد راهنما
- خسرو حسنی
- چکیده
- بیضیسنجی یک روش نوری دقیق، بسیار حساس و غیرمخرب است که به کمک تغییر حالت قطبش نور بعد از بازتاب، امکان اندازه‌گیری ضخامت و ثابتهای نوری لایه‌های نازک و تعیین ثابتهای نوری یک سطح بازتابنده را فراهم می‌کند. ما در این پایان‌نامه، از اندازه‌گیری شدت نور بازتابیده از سطح به منظور بیضیسنجی استفاده می‌کنیم. بعد از محاسبه شدت نور به ترتیب بردار استوکس و پارامترهای بیضیسنجی را به دست می‌آوریم. سپس ثابتهای نوری و ضخامت لایه نازک را بر حسب پارامترهای بیضیسنجی محاسبه می‌کنیم. در پایان ضخامت و ثابتهای نوری سه نمونه متفاوت را به کمک این روش به دست می‌آوریم. کلیدواژه : بیضیسنجی، قطبش، شدت نور، بردار استوکس، پارامترهای بیضیسنجی
- Abstract
- Ellipsometry is an accurate, very sensitive and nondestructive optical technique that uses the change in the state of polarization of light upon reflection for the measurement the thickness and optical constants of thin films and for determination of optical constants of reflecting surfaces. In this thesis, we use the measurement intensity of reflected light for Ellipsometry. After measuring intensity of light, the stokes vector and ellipsometric parameters are determined respectively and then the thickness and optical constants of thin film can be calculated in terms of the ellipsometric parameters. Finally, we use this method for obtaining the thickness and optical constants of three samples. Keywords: Ellipsometry, polarization, intensity of light, the stokes vector, ellipsometric parameters
