عنوان پایان‌نامه
طراحی و ساخت عناصر غیر فعال مایکروویو با استفاده از تکنولوژی MEMS
- رشته تحصیلی
- مهندسی برق-الکترونیک- تکنولوژی نیمه هادی
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 43328;کتابخانه مرکزی پردیس 2 فنی شماره ثبت: E 1658
- تاریخ دفاع
- ۱۳ مهر ۱۳۸۸
- دانشجو
- ملیحه رمضانی
- استاد راهنما
- سیدشمس ا لدین مهاجرزاده
- چکیده
- چکیده در این پایان نامه سعی شده آنتن های مینیاتوری با ساختار جدید در باند فرکانسی آزاد GHz 24 طراحی و ساخته شود، که در بیشتر آنها از تکنیک ریزماشین کاری تر بدنه سیلیکون برای کم کردن تلفات استفاده شده است. از جمله آنتن های طراحی شده آنتن مارپیچی مربعی و دایروی بوده است. با توجه به اهمیت فراوان کوچک سازی سطح اشغال شده توسط آنتن ها در بخش ساخت، آنتن مارپیچی مربعی برگزیده شده است. در قسمتی از پایان نامه، ساختار آنتن های جدید فرا پهن باند در این باند فرکانسی را مطرح می کنیم. در بخش طراحی در مورد بهینه کردن ابعاد آنتن مونوپل بر روی زیرلایه سیلیکونی با مقاومت های مختلف بحث خواهیم کرد و روش هایی برای بالا بردن راندمان آنتن طراحی شده به خصوص برای زیرلایه ی سیلیکونی کم مقاومت ارائه خواهیم داد. یکی از خطوط انتقال استاندارد مورد استفاده در مدارهای مجتمع مایکروویو یکپارچه امروزی خط CPW است. با توجه به اهمیت تلف خطوط انتقال سعی کردیم به صورت تجربی ارتباط تلف فلزی را با ضخامت فلز روی آن بررسی کنیم. برای محقق شدن این هدف از رزوناتور صفحه ای CPW روی زیر لایه ی شیشه، که به علت هدایت کم تلف کمی ایجاد می کند، استفاده شده است. به عنوان معیاری از میزان تلف خط ضریب کیفیت آن را مد نظر قرار دادیم. در این بخش از کار روشی برای استخراج ضریب کیفیت از ضریب بازتاب اندازه گیری شده¬ی رزوناتورها بیان می شود.
- Abstract
- In this work, we have tried to design and fabricate novel miniturized Micromachined antennas operated at the free frequency band of ISM. Silicon bulk-micromachinig is used in most of the proposed antennas. Square spiral and circular spiral antenna on Si-membrane with CPW feed-line, were designed at 24 GHz and their parameters were compared. Due to the importance of the miniaturization the square spiral structure was selected for the fabrication purposes. Also, novel ultra wide-band antennas for ISM band were designed and fabricated. In this part of the work, we have applied certain methods to reduce the losses in low resistivity silicon substrates to make them suitable for such antenna. The most frequently used transmission line for modern monolithic microwave integrated circuits is a co-planar waveguide strucutre. To investigate the CPW attenuation in MMICs we have studied the relation of the conductor loss to the metal thickness. A CPW resonator has been designed, fabricated, and characterized from 15 GH to 26 GHz versus its metal thickness. To investigate the CPW resonators, they have been fabricated on glass substrates because of their low conductivity. We have considered the quality factor to show the conductor loss of the line and presented a simple method to extract the Q-factor from the measured S-parameters of the CPW resonators.
