عنوان پایان‌نامه
ارزیابی لرزه ای سازه های گنبدی با مصالح بنایی با استفاده از روش بار افزون
- رشته تحصیلی
- مهندسی عمران - سازه
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 35435
- تاریخ دفاع
- ۲۹ فروردین ۱۳۹۱
- دانشجو
- محمدمهدی صادقی
- استاد راهنما
- شهرام وهدانی
- چکیده
- در این پایان نامه به بررسی انواع لیتوگرافی و نقش آن در صنعت الکترونیک و نانوتکنولوژی می پردازیم. هدف آن است روشی نوین و کم هزینه جهت لیتوگرافی در ابعاد نانومتری به وسیله نانولوله های کربنی را معرفی کنیم. روشی که در آن با استفاده از ساختار مناسب، پرتو یونی تولید می شود و پس از این که توسط نانوحفره های ایجاد شده به واسطه نانولوله های کربنی، به صورت باریکه ای مستقیم در می آیند، برای نقش نگاری در ابعاد نانومتری استفاده می کنیم. که با این تکنیک، به قدرت تفکیکی در حدود چند صد نانومتر می توان رسید. البته، این روش دارای قابلیتی است که بتوان به قدرت تفکیک های زیر صد نانومتر نیز دسترسی پیدا کرد. در فصل اول پس از مقدمه ای بر نانوتکنولوژی، انواع مختلف لیتوگرافی را بررسی می کنیم. در فصل دوم نیز به معرفی نانولوله های کربنی، خواص و کاربردهای آن می پردازیم. هم چنین، در مورد مشخصات الکتریکی آن نیز به اجمال بحث خواهیم کرد. که دراین قسمت، ساختار باند و نوارهای انرژی و روش محاسباتی آن را نیز مورد بررسی قرار می دهیم. در فصل سوم لیتوگرافی یونی توسط نانولوله های کربنی را توضیح می دهیم. مراحلی که طی آن، ساختار مناسب جهت لیتوگرافی آماده می¬شود، عبارتند از؛ ریز ماشینکاری سیلیکن، رشد نانولوله-های کربنی، لایه نشانی اکسید تیتانیوم به روش بخار شیمیایی، CMP، Oxygen Plasma Ashing و زدایش خشک سیلیکن در دستگاه RIE. که به تفصیل در مورد جزییات هر مرحله توضیح داده شده ونتایج حاصله نیز ارائه شده است. در فصل چهارم، یکی دیگر از ویژگی های منحصر به فرد نانولوله ها یعنی قابلیت گسیل داشتن الکترون را مورد توجه قرار می دهیم. هر چند این ویژگی عمدتاً برای کاربردهایی نظیر نمایشگرهای تخت استفاده می شود، اما در این جا از این مشخصه، جهت لیتوگرافی بهره جسته ایم. بنابر این در این قسمت پس از معرفی قابلیت گسیل میدان نانولوله های کربنی، مراحل آماده سازی برای استفاده در نانولیتوگرافی با پرتو الکترون گسیلی از نانولوله ها، را مورد بحث قرار می دهیم.
