عنوان پایان‌نامه
طراحی، شبیه سازی و ساخت نانوحسگر گازی اکسید فلزی بر پایه MEMS با استفاده از نانو ساختار یک بعدی اکسید روی
- رشته تحصیلی
- مهندسی سیستم های میکرو و نانو الکترومکانیک
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 81592;کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 81592
- تاریخ دفاع
- ۰۵ مهر ۱۳۹۵
- دانشجو
- سیدابوالفضل محمدی قلعه سری
- استاد راهنما
- علیرضا نیک فرجام
- چکیده
- در این پروژه ساخت حسگرهای گازی با استفاده از نانوسیم و نانوفیبر اکسید روی مورد بررسی قرار گرفته است. همچنین رشد نانوسیم به روش تبخیر حرارتی و رشد نانوفیبر به روش الکتروریسی انجام شده است. همچنین نحوه¬ی همراستا کردن نانوسیم¬ها بین الکترودها شبیه سازی و بررسی شده است. خاصیت حسگری نانوفیبرهای اکسید روی رشد داده شده، با غلظت¬های مختلف اتانول بررسی شده است. تاثیر عوامل فیزیکی اعمال شده از جمله افزایش دمای سطح حسگر و همچنین تابش نور فرابنفش به سطح حسگر در حضور اتانول بررسی شده است. مشاهده شد که حساسیت حسگر با افزایش دما افزایش یافت و در دمای400 درجه¬ی سانتگیراد به بیشترین مقدار رسید. با تابش نور فرابنفش، حساسیت حسگر در دماهای پایین¬ افرایش یافت ولی در دماهای بالاتر تغییری مشاهده نشد.
- Abstract
- In this project nanowires has been grown by thermal evaporation method and nanofibers has been grown by electrospinning method. As well aligning the nanowires between two electrodes is simulated and evaluated. Gas sensing properties of grown zinc oxide nanofibers is investigated by different concenterations of ethanol. Effects of increasing surface temperature of the sensor and ultraviolet radiation to the fibers in presence of ethanol has been studied. It was observed that the sensitivity of the sensor incresed by increasing tepmerature of sensor and the most response observed at 400oC. By exposing UV light to the surface of the sensor, we have seen a remarkable increase in response at low temeratures and no change in response at high tempertaures.
