عنوان پایان‌نامه
ارزیابی مقایسه ای شتابسنجهای کلاسیک و MEMS به منظور استفاده در پایش وضعیت
- رشته تحصیلی
- مهندسی مکانیک- ساخت و تولید
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه مرکزی پردیس 2 فنی شماره ثبت: 2928;کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 68015
- تاریخ دفاع
- ۲۴ شهریور ۱۳۹۳
- دانشجو
- مسعود باطنی
- استاد راهنما
- ابوالفضل معصومی, محمد محجوب
- چکیده
- در سال های اخیر استفاده از حسگر ها در ابعاد میکرونی، به دلیل مقرون به صرفه بودن و تولید انبوه آن ها به صورت چشمگیری گسترش یافته و باعث افزایش کنترل و نظارت بر سیستم ها شده است. یکی از عمده ترین حسگر های مورد استفاده، حسگر های اینرسی می باشند که به اندازه گیری ارتعاشات سیستم های در حال حرکت می پردازند . امروزه دستگاه های مختلف، از تلفن های همراه گرفته تا شاتل های فضایی، از این حسگر ها برای اندازه‌گیری میزان جابه جایی خود ،استفاده می‌نمایند. یکی از انواع حسگرهای اینرسی شتاب-سنج های میکرونی است ، که توانایی سنجش ارتعاشات را داراست. از طرفی سال هاست که در صنعت پایش وضعیت از شتاب سنج های کلاسیک استفاده می شود. این شتاب سنج ها مقاوم، دقیق و نسبت به شتاب سنج های میکرونی بسیار گرانقیمت تر هستند. ( قیمت یک شتاب سنج کلاسیک معمولی در حدود یکصد دلار است، در حالی که قیمت شتاب-سنج MEMS در حدود سه دلار است.) در این پایان نامه شتاب سنج MEMS با کلاسیک مقایسه شده است وطرحی بهینه شده با استفاده از الگوریتم ژنتیک برای شتاب سنج MEMS ارائه و روش های ساخت آن نیز بررسی شده است. واژه‌های کلیدی: حسگر شتاب، پایش وضعیت، MEMS، شتاب سنج
- Abstract
- In recent years applications of micro sensors, due to their affordability and their mass production has been significantly increased and led to advances in control and monitoring of systems. One of the main sensors are inertial sensors which measure vibrations of dynamic systems. Today different machines from cellular phones to space shuttles use these sensors to measure their displacement. One of these inertial sensors are microelectromechanical accelerometers which are able to monitor vibrations. On the other hand classical accelerometers have been being in use in the condition monitoring industry for years. These accelerometers are robust, precise, and much more expensive relative to MEMS types (a classical accelerometer costs about 100 dollars, while a MEMS accelerometer costs about 3 dollars). In this thesis MEMS and classical accelerometers are compared and an optimized design for the capacitive MEMS accelerometer using genetic algorithm has been proposed and the manufacturing methods has been studied, too. Keywords: MEMS- Condition monitoring – Accelerometer- acceleration sensor
