عنوان پایان‌نامه
مطالعه سطوح متخلخل با روش بیضی سنجی
- رشته تحصیلی
- فیزیک- حالت جامد
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه پردیس علوم شماره ثبت: 5492
- تاریخ دفاع
- ۲۵ خرداد ۱۳۹۳
- دانشجو
- مونا کاشی زنوزی
- استاد راهنما
- خسرو حسنی
- چکیده
- خواص اپتیکی فیلم‌های نازک به شدت وابسته به ریزساختار، شکل و زبری سطح است. تخلخل یکی از ویژگی‌های کلیدی است که روی ویژگی‌های اپتیکی، مکانیکی، گرمایی، شیمیایی و الکتریکی تاثیر می‌گذارد. برای به دست آوردن رابطه‌ی بین خواص مواد و تخلخل باید بتوان این ویژگی را بصورت دقیقی اندازه گرفت. اندازه‌گیری تخلخل لایه‌های نازک یک کار چالش برانگیز است، چرا که روش‌های رایج مانند همدمایی جذب گاز که معمولا با معادلات کلوین، BET و BJH مدل سازی می‌شوند، به مقدار زیادی از پودر ماده نمونه (حداقل50-100 میلی گرم) برای به دست آوردن نتایج خوب نیاز دارند. بدیهی است که این مقدار برای فیلم‌های نازک دشوار است. یکی از روش‌های رایج اندازه‌گیری تخلخل، روش بیضی‌سنجی است که از آن می‌توان برای محاسبه ثابت دی‌الکتریک و ضخامت لایه‌های نازک استفاده کرد و سپس تخلخل را با استفاده از ضریب شکست و مدل مناسب محاسبه کرد. ما در این پروژه با استفاده از روش بیضی سنجی میزان تخلخل لایه‌های نازک سیلیکون متخلخل را که به روش خوردگی الکتروشیمیایی تهیه شده اند اندازه‌گیری و با یکدیگر مقایسه کرده‌ایم. نتایج به‌دست آمده با پیش‌بینی‌های انجام شده از روی جریان آنودایزینگ هم‌خوانی دارند. کلمات کلیدی: تخلخل، بیضی‌سنج
