عنوان پایان‌نامه
تولید لایه های نازک Mn با نانو ساختار ستونی و تعیین خواص مختلف فیزیکی آنها برحسب ضخامت لایه
- رشته تحصیلی
- نانوفیزیک
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 48028;کتابخانه پردیس علوم شماره ثبت: 4523
- تاریخ دفاع
- ۳۰ بهمن ۱۳۸۹
- دانشجو
- پریناز حسین پور
- استاد راهنما
- هادی سوالونی
- چکیده
- بخش وسیعی از صنعت امروز با لایه¬های نازک مرتبط است. بنابراین بررسی خواص مختلف الکتریکی، اپتیکی، مکانیکی و غیره لایه¬های نازک از اهمیت ویژه¬ای در تکنولوژی امروز برخوردار است. سطح و ریخت شناسی آنها و از این¬رو خواص مختلف لایه¬های نازک به شدت تحت تأثیر شرایط و پارامترهای انباشت و لایه¬نشانی است. در این پایان¬نامه، اثر تغییر پارامتر ضخامت لایه روی مقاومت و رسانندگی الکتریکی و همچنین ثابت هال و خواص اپتیکی (قسمت¬های حقیقی و موهومی ضریب شکست) لایه¬های نازک منگنز نشانده شده بر روی زیرلایه¬های شیشه¬ای با استفاده از روش تبخیر فیزیکی به کمک باریکه الکترونی مورد بررسی قرار گرفته است. مقاومت ویژه لایه¬ها و ثابت هال با استفاده از روش کاوه چهار نقطه¬ای اندازه¬گیری شدند. نتایج به-دست آمده با مدل ترکیبی S-F + S-M پیشنهاد شده برای مطالعه رفتار مقاومت ویژه الکتریکی مقایسه شدند و بستگی مقاومت الکتریکی لایه¬ها به اندازه دانه¬ها و مرزدانه¬ها مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان دادند که مقاومت ویژه الکتریکی و ثابت هال با افزایش ضخامت لایه کاهش می-یابند. همچنین خواص اپتیکی لایه¬ها از جمله میزان بازتابش و عبور نور فرودی دارای دو حالت پلاریزاسیون s و p و همچنین مقادیر حقیقی و موهومی ضریب شکست لایه¬ها نیز بررسی شدند. کلید واژه¬ها: لایه¬های نازک منگنز – کاوه چهار نقطه¬ای – مقاومت ویژه الکتریکی – خواص اپتیکی – ثابت هال – ضریب شکست.
- Abstract
- Today, the most part of industry is related to thin films. Thus, the investigation of different properties of thin films as electrical, optical, mechanical properties has the specific importance in technology. The surface, Morphology and hence different properties of thin films are strongly influenced by the deposition condition and parameters. In this study, the effect of changes of thickness on the resistance, conductance and, Hall effect and optical properties (imaginary and real parts of index refractive) of Mn films on glass substrates, using PVD evaporation + electron gun technique, is investigated. Resistivity and Hall coefficient are measured by four point probe method. The results are compared with the combine model (F-S+M-S) which is proposed for the study of electrical resistivity. Furthermore, dependence of thin films resistivity on grain sizes and grain boundary is investigated. The results indicate that resistivity and Hall coefficient decrease as thickness increases. Finally, the optical properties of thin films such as reflectance, transmission and imaginary and real part of index refractive are investigated. Keywords: Mn thin films, resistivity, four point probe, optical properties, Hall coefficient, index refractive
