عنوان پایان‌نامه
تولید لایه های نازک Mn در زوایای مایل و ضخامت های مختلف با نانو ساختار ستونی و تعیین خواص آنها
- رشته تحصیلی
- نانوفیزیک
- مقطع تحصیلی
- کارشناسی ارشد
- محل دفاع
- کتابخانه مرکزی -تالار اطلاع رسانی شماره ثبت: 48865;کتابخانه پردیس علوم شماره ثبت: 4515
- تاریخ دفاع
- ۳۰ بهمن ۱۳۸۹
- دانشجو
- جمیله بیک محمدی
- استاد راهنما
- هادی سوالونی
- چکیده
- در این پایان نامه اثر ضخامت و زاویه انباشت بر خواص الکتریکی، مغناطیسی و اپتیکی لایه های نازک منگنز مورد بررسی قرار گرفته است. به این منظور لایه های نازک ستونی موسوم به CTF ها با زوایای انباشت متفاوت به روش تبخیر فیزیکی با باریکه الکترونی رشد داده شدند. ناهمسانگردی خواص مختلف (ازجمله خواص الکتریکی، اپتیکی و مغناطیسی) از جمله مسائل مورد علاقه محققین در بررسی این نوع لایه های نازک است. برای اطلاع از ساختار سطح و سطح مقطع و کل لایه از سه آنالیز AFM، SEM و XRD کمک گرفته شد. در گام بعد تطابق نتایج این آنالیز ها انجام شد با نتایج به دست آمده از اندازه گیری های الکتریکی و اپتیکی مورد بررسی قرار گرفت. برای بررسی خواص الکتریکی از جمله مقاومت، مقاومت ویژه و ناهمسانگردی مقاومت ویژه در دو جهت موازی و عمود بر صفحه فرود بخار از روش کاوه چهار نقطه ای بهره گرفته شد. همچنین اثر عوامل مختلف (مانند ضخامت و اندازه دانه ها) بر اندازه مقاومت ویژه لایه های نازک تولید شده مورد بررسی قرار گرفت و تطابق با نظریه های مطرح شده در این زمینه نیز مورد توجه قرار گرفت. در گام بعد آزمایش هال در دو میدان متفاوت برای این لایه ها انجام شد. برای بررسی خواص اپتیکی نیز از آنالیز اسپکتروفوتومتری استفاده شد و همخوانی نتایج این آنالیز با نظریات مطرح شده در بحث CTF ها به طور کمی مورد مطالعه قرار گرفت. واژه های کلیدی: لایه های نازک با ساختار ستونی، زاویه انباشت، روش کاوه چهار نقطه ای، ناهمسانگردی مقاومت ویژه، آزمایش هال، آنالیز اسپکتروفوتومتری.
- Abstract
- In this work, we have prepared columnar thin Manganese films using oblique angle deposition. Different properties of mentioned films have been investigated to examine how cited properties have been affected by some parameters such as film thickness and deposition angle. We have concluded that film properties are highly affected by film thickness and deposition angle. Using four point probe measurements, spectrophotometry method, and Hall experiment it has been shown that a great dependence of electrical and optical properties on film thickness and deposition angle. XRD, SEM and AFM images has shown that mentioned dependence is a result of film structure, surface morphology and crystalline structure which is affected by deposition parameters and condition. Comparing all results, one may see a good agreement between them. Keywords: Columnar thin films, Oblique angle deposition, Four point probe measurement, Spectrophotometry, Hall experiment, Surface morphology
